2011年度サイエンス・マイスター副専攻春学期授業「高度科学技術入門」、「科学体験学習1」実施報告

サイエンス・マイスター育成プログラム
「サイエンス・マイスター副専攻」

2013年度実施授業
春学期:







秋学期:

「高度分析技術3」 スパッタリング現象(1) 10月16日

講師:工学部 原子力工学科 松村 義人 教授
チャレンジセンター 岡田 工 准教授


本授業は、履修者を2班に分け、第一班はめっき処理やスパッタリング現象への理解を深め、第二班は実際の応用例として、SEMにおけるコーターの利用を実施し、スパッタリングの応用を体験的に理解しました。


「めっき処理とスパッタリング現象」


薄膜と厚膜の違いを確認し、銅板にニッケルのめっきを施す実験を行いました。種類に関しては、湿式めっき、乾式めっき、真空蒸着、スパッタリング法などの説明を受けました。また電気分解としてファラデーの電気分解の法則についても学びました。


学生の感想


授業の最後に行った銅のニッケルめっきで指紋がついただけで、その跡が残っていた。このことからめっきも含めコーティングする際は、表面をきれいにしえおく必要があるのだと思いました。

(3年生:K君)



電気分解を利用した銅板のニッケルめっきを行ったが、その時、ニッケルめっきの色や爪で擦ると落ちるのか、また、表面の状態はどうなっているのか、知ることが出来て良かった。

(3年生:K君)



物理蒸着法しか話を聞いたり見たりしていなかったので、化学蒸着法である電気分解の湿式めっきに触れることが出来て楽しかったです。

(2年生:Hさん)



真空蒸着やスパッタリングという言葉は、聞きなれない言葉でしたが、今回の授業では、その意味を理解することが出来ました。

(2年生:Sさん)



電気めっきは、浴を使うイメージがあったので、今回の実験では、ろ紙を使っても出来るというところに驚きました。また、マジックの線の部分は、めっきされないというのも今までにやった事がなかったので面白かったです。スパッタリングは、言葉として聞いたことがあったが、ちゃんと勉強するのは初めてで、考えていたよりも成膜方法に様々な種類があったので驚きました。

(3年生:Tさん)

「スパッタリングとコーティングの実習」


電子顕微鏡で試料表面の分析を行う際に必要なスパッタリング技術について、原理や機器の使い方を実際の装置に触れながら学習しました。実験では、ガラス基板へのアルミ蒸着とスライドガラスへのスパッタリングによる金コーターを薄膜処理の実施を行いました。


学生の感想


とても分かりやすく説明をして頂いた。特に真空ポンプについての話は、今後、役に立つ話だったので、今回の講義を聴けて良かった。

(2年生:O君)



実際に自分の目で物質が加熱されて赤くなっている様子、蒸着が行われ真空容器全体が銀色になっていく様子などが見られて良かった。試料を作製する際には手袋を着用し、アルコールで表面を拭いて脱脂を行う。脱脂しないと油等が装置内で飛んで、装置を駄目にしてしまうなど、理由も含めて準備の大切さも改めて理解出来て良かった。

(2年生:Sさん)



金コーターは、今後、自分の研究でも使いたいと思っているので、自分一人で使えるように構造と原理をちゃんと理解しなければならないと思いました。カプトンテープで模様を付けたスライドガラスの出来栄えが楽しみです。

(4年生:Sさん)



自分の研究室でも用いているスパッタが電子顕微鏡を用いた際のチャージアップ防止用のコーティングに用いられていた事に驚きました。スパッタや蒸着でムラなく均一に処理するのは、非常に難しく感じたので、今後とも精進していこうと思いました。

(3年生:S君)



蒸着を行った時に周りの壁にアルミが付き、鏡のようになったのが、容器の中で水が蒸発して壁に水蒸気が付く様だったので、アルミのような金属でも同じように蒸発するのが不思議で興味を持ちました。

(2年生:S君)

東海大学
社会の多様な場で活躍するサイエンス・マイスター育成プログラムは 文部科学省の公募事業で
ある「理数学生応援プロジェクト」で 東海大学が平成22年度に採択された育成プログラムです。
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