2011年度サイエンス・マイスター副専攻春学期授業「高度科学技術入門」、「科学体験学習1」実施報告

サイエンス・マイスター育成プログラム
「サイエンス・マイスター副専攻」

2013年度実施授業
春学期:







秋学期:

「高度分析技術3」 深さ方向分析(3) 12月18日

講師:教養学部人間環境学科自然環境課程 内田晴久 教授


今回の講義では内田晴久教授による、今までのXPSに関する講義の復習とまとめを行いました。さらに、深さ方向分析を理解する上で必要な知識や原理について説明をしていただきました。また、講義最後にはXPSの実験で行ったカーブフィッティングについて技術共同管理室の原木さんから解説がされました。


学生の感想


バナジウムの酸化物が色々あり、温度によって抵抗値が大きく変化するなどの性質があり、それをXPSで分析すると酸化している度合いによって結合エネルギーが少しづつ綺麗にずれているということが分るという事にとても興味を持った。

(2年生:S君)



フィッティングを行ったときはchisquaredの値しか気にしていなかったので「赤字がなくなるように調整する」というのを聞いて少し驚いた。自分達の班の結果を見たら赤いままの箇所が結構あったが、ここまで調整するにもかなり時間がかかったので完璧にできるようにするのは大変だと思った。深さ方向分析=スパッタリングというイメージがあったが、試料を傾ける事でも分析できるのは面白いと感じた。

(3年生:Tさん)



イオンスパッタリングによる試料表面との相互作用に依存する要因としてアトミックミキシングや、多結晶の金属試料においてイオンスパッタリングによる表面が荒れてしまう問題などについて取り上げた。これらの問題について“表面荒れの成長”は試料作製の段階で回転させながら試料を作る事でこれを解決するという方法はとても興味があった。

(3年生:K君)



前回と今回を通して、深さ方向分析の原理やそれをする際に必要な事が理解できた。しかし、ファクターアナリシスの方法や細かい内容についてはよく分らなかったので、もう少し復習したい。

(3年生:S君)



観測されるピークがいくつかのピークの重ね合わせによって出来ている所にフーリエ解析の考え方が入っているのかなと思った。

(2年生:T君)



実際に実験を行いXPSのピーク解析やカーブフィッティングについて少し分ってきた気がする。深さ方向分析の観測スペクトルを、各スペクトルの関数を合成したものと考え、それぞれの関数を分解し試料に含まれている各酸化物を分析するという方法は、机上のみで行われていた数学が実際に社会においてどのように活用されているのかを、私に教えてくれたように思う。感動した。

(4年生:Sさん)



今回はXPSにおける分析結果の整理及び分析結果で考慮する様々な影響について学びました。前回までの実験結果と照らし合わせながらXPSにおいてどのような要因で実験結果に影響を与えるのかといった事を学び、XPSの使用において改めて気を付けなければならない点を学ぶ事ができました。ウィンターセッションでXPSを使う際にも今回学んだ点を復習しながら使用したいと思います。

(2年生:Sさん)



スパッタで表面が荒れるという事は何度か言われていたが、これほどまでにデータに影響するものとは思っていなかった。今後スパッタによって深さ方向分析をする事があったら、この事を頭の片隅に留めて見ようと思う。

(3年生:K君)



深さ方向分析で必要とされているノウハウが自身の研究にもリンクしている箇所が多くて、色々考えさせられる事が多かったです。特にスパッタ率の結晶方位依存性が気になったので調べてみようと思います。実習でやったスペクトルの考察の仕方についてもう少しやってほしかったです。

(3年生:S君)



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