2011年度サイエンス・マイスター副専攻春学期授業「高度科学技術入門」、「科学体験学習1」実施報告

サイエンス・マイスター育成プログラム
「サイエンス・マイスター副専攻」

2013年度実施授業
春学期:







秋学期:

「課題分析実験2」 2日目  3月6日(水)

講師:工学部電子電気工学科 沖村邦雄 教授
工学部原子力工学科 松村義人 教授
チャレンジセンター 崔一英 教授
チャレンジセンター 岡田工 准教授
教育研究所 安森偉郎 准教授


試料の特性評価1 [SEM・XRD]


今回の学習は、2グループに分かれ、1,2時限目は熱酸化法によるSiO2膜の作製、半導体カーブトレーサーによる素子の特性評価と四探針法による電気特性の評価、光学顕微鏡による表面観察をそれぞれ行った。3,4時限目は同グループにて、FE-SEM(高分解能電界放出形走査型電子顕微鏡:Field Emission Scanning Electron Microscope)による表面形態観察とMRD(薄膜材料結晶解析X線回折装置:Material Research Diffraction System)による結晶構造解析を行った。



学生の感想


FE-SEMを初めて自身で操作しました。ピントだけでなく収差の補正に気を配るのは思いのほか難しく、今後練習してオペレーター試験に臨みたいと思います。

(3年生:S君)



熱処理の時間で試料につく酸化膜の膜厚が変わり、色も変化するということで実際に見せてもらったが、とてもきれいだった。SEMでの試料観察は1つ1つの確認もそうだが、試料の真の姿を現すのも大変だった。

(2年生:Hさん)



SiO2の試料作製の際は、同じSiO2でも薄膜の厚さによって色が様々に変わることが面白いと思った。また、薄膜が生成されたからといって結晶が生成されるとは限らないということを知った。よって、SiO2やAl2O3がSi上にあるからといってMRDで検出されるわけではないということが分かって、理解するのに時間がかかるが面白いと思った。

(2年生:Sさん)



光学顕微鏡を用いての試料の観察は、一目見ただけでは分からない細かな試料の観察ができてとても興味深かったです。2限目の熱酸化法によるSiO2の作製では熱によってSiの表面(灰色)がSiO2(青色)へと変化していく様子が、3,4限目のXRDによる分析では、データを読み取るのに苦労しましたが各試料の異なった結晶状態を自分の目で観察できたのがとても面白かったです。

(2年生:Sさん)

東海大学
社会の多様な場で活躍するサイエンス・マイスター育成プログラムは 文部科学省の公募事業で
ある「理数学生応援プロジェクト」で 東海大学が平成22年度に採択された育成プログラムです。
東海イズム